智能光罩柜为精密存储设备，通过氮气稀释控湿防氧化，支持湿度、氧气精准控制和超标报警。配套电子货架用标准氮气柜，配强化玻璃、SUS304不锈钢机身，带刹车脚轮、导电链条，可整合MES/MCS统计储位。
RFID应用解决方案
上海科浩RFID系统是一种先进的自动识别技术，具有非接触式、快速精准识别的特性。在RFID读写器的辅助下，与MES系统对接，实现对静止或移动物品的自动识别，并实现实时管理，以实时、精准、高效的特性，实现统一调度，提升生产过程的透明度、安全性和效率。
科浩RFID系统由标签、读写器和数据处理系统组成，具有识别速度快、准确性高、操作便捷等特点。产品涵盖6吋eRack，8吋eRack（集成AGV），12吋eRack（集成AGV），Mask eRack、研磨柜电子货架等不同规格和式样，并可根据客户需求进行个性化定制。
RFID应用解决方案特点
基于半导体SEMI标准提供应用于半导体设备的RFID读写器，基于Ti芯片自主研发
支持SECS I/HSMS通信，可直接与设备或者EAP进行通信
支持部分专有协议，可替代Omron、ASYST等RFID读写器、也可替代基恩士部分读码器
支持IO触发和上位机命令触发进行读取操作
提供语音播报、显示屏显示等扩展模块，增加生产现场的互动，互动的内容可由EAP进行控制
可根据客户需求，对于输入和输出做部分的功能定制
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半导体激光散热流式细胞技术 核算荧光染色技术，鞘流阻抗法技术
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上位读写软件，有写入数据二次确认，可与用户系统对接为载具写入RFID Tag信息
